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Nucleation behavior and growth characteristics of Atomic-Layer deposited Iridium thin films with TICP and Oxygen
- 제목
- Nucleation behavior and growth characteristics of Atomic-Layer deposited Iridium thin films with TICP and Oxygen
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2023-06-22
- 학회명
- 2023 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최지
- 강원도 평창 알펜시아리조트