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Enhanced Plasma Corrosion Resistance of Y2O3/Al2O3/Al Multilayer Substrate for Fluorine Functional Interfaces
- 제목
- Enhanced Plasma Corrosion Resistance of Y2O3/Al2O3/Al Multilayer Substrate for Fluorine Functional Interfaces
- 저자
- 좌용호
- 발행일
- 2025-10-14
- 학회명
- 248th ECS Meeting
- 개최지
- 미국 시카고