Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers

제목
Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers
저자
김우희
발행일
2020-11-18
학회명
2020년도 한국재료학회 춘계학술대회
개최지
휘닉스 제주 섭지코지