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선택적 증착에 의한 메모리 소자 결함 회복 방법
A DEFECT HEALING METHOD BY SELECTIVE DEPOSITION FOR MEMORY DEVICE
- 제목
- 선택적 증착에 의한 메모리 소자 결함 회복 방법
- 제목 (타언어)
- A DEFECT HEALING METHOD BY SELECTIVE DEPOSITION FOR MEMORY DEVICE
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2021-03-03
- 출원번호
- 10-2019-0066737
- 등록번호
- 10-2225183
- 출원일
- 2019-06-05
- 등록일
- 2021-03-03
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 인천대학교 산학협력단,한양대학교 에리카산학협력단