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Advanced Atomic Layer Deposition: Ultrathin metal film growth using discrete feeding method and electric potential assisted-atomic layer deposition
- 제목
- Advanced Atomic Layer Deposition: Ultrathin metal film growth using discrete feeding method and electric potential assisted-atomic layer deposition
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2022-11-11
- 학회명
- 2022년도 한국표면공학회 추계학술대회
- 개최지
- 광주 국립아시아문화전당