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대역외 방사선 영향을 최소화 할 수 있는 극자외선 리소그래피용 펠리클
Extreme-ultraviolet pellicle with minimal effect of out-of-band radiation
- 오혜근;
- 안일신;
- 박진구;
- 안진호
- 제목
- 대역외 방사선 영향을 최소화 할 수 있는 극자외선 리소그래피용 펠리클
- 제목 (타언어)
- Extreme-ultraviolet pellicle with minimal effect of out-of-band radiation
- 저자
- 오혜근; 안일신; 박진구; 안진호
- 발행일
- 2017-03-03
- 출원번호
- 10-2015-0148183
- 등록번호
- 10-1714908
- 출원일
- 2015-10-23
- 등록일
- 2017-03-03
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단