ScholarWorks@Hanyang University ERICA Campus

상세 보기

기판 고유의 선택비를 활용한 SiO2 박막의 영역 선택적 증착법

제목
기판 고유의 선택비를 활용한 SiO2 박막의 영역 선택적 증착법
저자
박태주
발행일
2021-06-24
학회명
한국표면공학회 춘계학술대회
개최지
온라인

ScholarWorks@Hanyang University ERICA Campus

(15588) 경기도 안산시 상록구 한양대학로 55 Tel. +82-31-400-4269

COPYRIGHT © Hanyang University ERICA Campus All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.