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경사패턴을 갖는 화학기계적 평탄화 패드 컨디셔너
CMP pad conditioner comprising a gradient pattern
- 제목
- 경사패턴을 갖는 화학기계적 평탄화 패드 컨디셔너
- 제목 (타언어)
- CMP pad conditioner comprising a gradient pattern
- 저자
- 박진구
- 발행일
- 2019-04-29
- 출원번호
- 10-2017-0059752
- 등록번호
- 10-1975659
- 출원일
- 2017-05-15
- 등록일
- 2019-04-29
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단