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자외선 방사선을 이용하여 펠리클 제거 없이 극자외선 마스크 결함 검사를 할 수 있는 극자외선 리소그래피용 펠리클
Multi-stack extreme-ultraviolet pellicle membrane that allow through-pellicle inspection using a non-actinic inspection tool
- 오혜근;
- 박진구;
- 안진호
- 제목
- 자외선 방사선을 이용하여 펠리클 제거 없이 극자외선 마스크 결함 검사를 할 수 있는 극자외선 리소그래피용 펠리클
- 제목 (타언어)
- Multi-stack extreme-ultraviolet pellicle membrane that allow through-pellicle inspection using a non-actinic inspection tool
- 저자
- 오혜근; 박진구; 안진호
- 발행일
- 2020-04-06
- 출원번호
- 10-2018-0036176
- 등록번호
- 10-2100029
- 출원일
- 2018-03-28
- 등록일
- 2020-04-06
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단,한양대학교 산학협력단