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Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films with a Thermally Stable (CpMe5) Ti(OMe)3 Precursor
- 제목
- Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films with a Thermally Stable (CpMe5) Ti(OMe)3 Precursor
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2021-10-07
- 학회명
- IUMRS-ICA 2021
- 개최지
- ICC Jeju(Hybrid)