상세 보기
Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor
- 제목
- Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2020-11-19
- 학회명
- 한국재료학회 춘추계통합학술대회
- 개최지
- 대한민국/제주 휘닉스 섭지코지