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Ceramic thin film deposition technology for manufacturing plasma-resistant substrate materials for semiconductor processing
- 제목
- Ceramic thin film deposition technology for manufacturing plasma-resistant substrate materials for semiconductor processing
- 저자
- 좌용호
- 발행일
- 2023-04-07
- 학회명
- 2023 한국분말재료학회 춘계학술대회
- 개최지
- 창원