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N controlled Lithium Phosphorous Oxy-nitride(LiPON) Electrolyte Coating by LiPON:LiN ALD cycle ratio for Enhancing Ionic Conductivity
- 제목
- N controlled Lithium Phosphorous Oxy-nitride(LiPON) Electrolyte Coating by LiPON:LiN ALD cycle ratio for Enhancing Ionic Conductivity
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2022-01-25
- 학회명
- 제29회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원 그랜드호텔