Insulation Shield를 이용한 TMEMM(Through-Mask Electrochemical Micromachining) 공정의 균일도 개선

제목
Insulation Shield를 이용한 TMEMM(Through-Mask Electrochemical Micromachining) 공정의 균일도 개선
저자
박진구
발행일
2016-11-18
학회명
2016년도 한국재료학회 추계학술대회
개최지
경주 현대 호텔