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Growth behavior and properties of Ru film by electric field/potential assisted atomic layer deposition (EA-ALD)
- 제목
- Growth behavior and properties of Ru film by electric field/potential assisted atomic layer deposition (EA-ALD)
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2020-02-13
- 학회명
- 제27회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 대한민국/강원도 정선 하이원리조트