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Atomic-layer deposition of TiO2 thin films using a (CpMe5) Ti(OMe)3 precursor with high thermal stability
- 제목
- Atomic-layer deposition of TiO2 thin films using a (CpMe5) Ti(OMe)3 precursor with high thermal stability
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2021-06-18
- 학회명
- 한국세라믹학회 춘계학술대회
- 개최지
- 창원컨벤션센터