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Area-Selective Atomic Layer Deposition of Al2O3 Thin Films for Metal versus Dielectric Selectivity Using Vapor-Dosed Alkanethiol
- 제목
- Area-Selective Atomic Layer Deposition of Al2O3 Thin Films for Metal versus Dielectric Selectivity Using Vapor-Dosed Alkanethiol
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2024-01-25
- 학회명
- 제 31회 한국반도체학술대회