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Hollow cathode plasma source를 이용한 저온∙고품질 SiNx ALD 공정

제목
Hollow cathode plasma source를 이용한 저온∙고품질 SiNx ALD 공정
저자
박태주
발행일
2022-06-23
학회명
2022년도 한국표면공학회 춘계학술대회
개최지
인하대학교

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