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Advanced Atomic Layer deposition: Titanium Nitride Thin Films growth using Discrete Feeding Method with Brute Hydrazine
- 제목
- Advanced Atomic Layer deposition: Titanium Nitride Thin Films growth using Discrete Feeding Method with Brute Hydrazine
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2026-01-30
- 학회명
- 제33회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원리조트