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고등 원자층 증착법: Discrete feeding method를 이용한 금속 산화물 박막 성장 공정

제목
고등 원자층 증착법: Discrete feeding method를 이용한 금속 산화물 박막 성장 공정
저자
박태주
발행일
2023-05-18
학회명
2023 한국표면공학회 춘계학술대회
개최지
제주 소노벨

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