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원자층 증착법을 이용하여 Rutile 구조의 TiO2 박막 증착을 위한 Sn 도핑과 SnO2 시드 층 도입 평가

제목
원자층 증착법을 이용하여 Rutile 구조의 TiO2 박막 증착을 위한 Sn 도핑과 SnO2 시드 층 도입 평가
저자
안지훈
발행일
2022-11-10
학회명
2022년도 한국표면공학회 추계학술대회

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