상세 보기
Advanced Atomic Layer Deposition (ALD): Ultrathin Metal Film Growth Using Discrete Feeding Method and Electric Potential Assisted ALD
- 제목
- Advanced Atomic Layer Deposition (ALD): Ultrathin Metal Film Growth Using Discrete Feeding Method and Electric Potential Assisted ALD
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2023-02-15
- 학회명
- 제30회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원리조트