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고 수명을 위한 펠렛 회전형 CVD 패드 컨디셔너
CVD Pad Conditioner with Rotatable Pellet for Longer Lifetime
- 제목
- 고 수명을 위한 펠렛 회전형 CVD 패드 컨디셔너
- 제목 (타언어)
- CVD Pad Conditioner with Rotatable Pellet for Longer Lifetime
- 저자
- 박진구
- 발행일
- 2020-09-10
- 출원번호
- 10-2019-0027274
- 등록번호
- 10-2156997
- 출원일
- 2019-03-11
- 등록일
- 2020-09-10
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단,새솔다이아몬드공업(주)