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Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor
- 제목
- Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2020-11-18
- 학회명
- 2020년도 한국재료학회 춘계학술대회
- 개최지
- 휘닉스 제주 섭지코지