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Catalyst-Assisted Low-Temperature Atomic Layer Deposition of SiO2 Films and Enhanced Film Quality via In-situ Ozone Treatment
- 제목
- Catalyst-Assisted Low-Temperature Atomic Layer Deposition of SiO2 Films and Enhanced Film Quality via In-situ Ozone Treatment
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2025-02-14
- 학회명
- 제 32회 한국반도체학술 대회