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Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ru Thin Films using Inhibitors for Metal-Dielectric Selectivity
- 제목
- Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ru Thin Films using Inhibitors for Metal-Dielectric Selectivity
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2023-05-11
- 학회명
- 2023 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회