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Cyclopentadienyl 계열 cocktail 전구체를 상용한 Hf1-xZrxO2 박막의 강유전 특성 및 계면처리에 따른 강유전 특성 향상

제목
Cyclopentadienyl 계열 cocktail 전구체를 상용한 Hf1-xZrxO2 박막의 강유전 특성 및 계면처리에 따른 강유전 특성 향상
저자
안지훈
발행일
2020-12-17
학회명
한국표면공학회 2020 추계학술대회
개최지
부산

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