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대면적 비접촉식 노광장비 마스크와 기판의 국부적 간극제어를 위한 설계
Design of The Local Gap Control between Mask and Substrate for Large Areas Noncontact Exposure System
- 이다연;
- 오제훈;
- 이재웅;
- 류상길
키워드
Mask stage; Proximity exposure; Gap control; Mask holder
- 제목
- 대면적 비접촉식 노광장비 마스크와 기판의 국부적 간극제어를 위한 설계
- 제목 (타언어)
- Design of The Local Gap Control between Mask and Substrate for Large Areas Noncontact Exposure System
- 저자
- 이다연; 오제훈; 이재웅; 류상길
- 발행일
- 2016-10
- 저널명
- 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회논문집
- 페이지
- 96 ~ 97
- 언어
- KOR
- 출판사
- 한국정밀공학회
- 발행국가
- 대한민국
- 분량
- 2 페이지