상세 보기
Improvement of the Electrical Properties in HfxZr1-xO2 with Al Doping Using Atomic Layer Deposition
- 제목
- Improvement of the Electrical Properties in HfxZr1-xO2 with Al Doping Using Atomic Layer Deposition
- 저자
- 안지훈
- 발행일
- 2021-11-09
- 학회명
- ICAE 2021
- 개최지
- 제주도