Effect of ZrO₂ Thickness and Annealing Methods on the Antiferroelectric Properties of TiN/ZrO₂/TiN Capacitors

제목
Effect of ZrO₂ Thickness and Annealing Methods on the Antiferroelectric Properties of TiN/ZrO₂/TiN Capacitors
저자
강보수
발행일
2025-04-23
학회명
한국물리학회 2025 봄학술논문발표회
개최지
대전컨벤션센터