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Effect of ZrO₂ Thickness and Annealing Methods on the Antiferroelectric Properties of TiN/ZrO₂/TiN Capacitors
- 제목
- Effect of ZrO₂ Thickness and Annealing Methods on the Antiferroelectric Properties of TiN/ZrO₂/TiN Capacitors
- 저자
- 강보수
- 발행일
- 2025-04-23
- 학회명
- 한국물리학회 2025 봄학술논문발표회
- 개최지
- 대전컨벤션센터