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Metal oxide thin film dep osition technology for man ufacturing plasma resistant sub st rate materials
- 제목
- Metal oxide thin film dep osition technology for man ufacturing plasma resistant sub st rate materials
- 저자
- 좌용호
- 발행일
- 2023-11-28
- 학회명
- APMA 2023
- 개최지
- 경주시