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ALD MoOx using Novel precursor & Mechanisms of initial tetragonal ZrO2 deposition at interfaces through MoO2/MoO3 phase control
- 제목
- ALD MoOx using Novel precursor & Mechanisms of initial tetragonal ZrO2 deposition at interfaces through MoO2/MoO3 phase control
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2025-02-14
- 학회명
- 제 33회 한국반도체학술 대회