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Nanoscale ceramic thin film deposition for manufacturing substrates with enhanced plasma resistance
- 제목
- Nanoscale ceramic thin film deposition for manufacturing substrates with enhanced plasma resistance
- 저자
- 좌용호
- 발행일
- 2023-11-17
- 학회명
- 2023 KJ-Ceramics 37
- 개최지
- 경주시