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영역 선택적 원자층 증착법 : 기본 원리 및 표면처리 응용 (Area-Selective Atomic Layer Deposition : Introduction to practical application to advanced surface engineering)
- 제목
- 영역 선택적 원자층 증착법 : 기본 원리 및 표면처리 응용 (Area-Selective Atomic Layer Deposition : Introduction to practical application to advanced surface engineering)
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2020-06-24
- 학회명
- 2020년도 한국표면공학회 춘계학술대회
- 개최지
- 부산 그린나래호텔