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원자층증착법에 의해 증착된 저저항 질화몰리브덴 박막

제목
원자층증착법에 의해 증착된 저저항 질화몰리브덴 박막
저자
안지훈
발행일
2022-11-11
학회명
2022년도 한국표면공학회 추계학술대회

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