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Quantitative comparison of silica and ceria abrasive contamination on PVA brush and its effect on post CMP cleaning process
- 제목
- Quantitative comparison of silica and ceria abrasive contamination on PVA brush and its effect on post CMP cleaning process
- 저자
- 박진구
- 발행일
- 2019-11-01
- 학회명
- 2019년도 한국 재료학회 추계학술대회
- 개최지
- 삼척 쏠비치 호텔