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Effects of Zr content and annealing on ferroelectric of as-grown crystalline Hf1-xZrxO2 thin films using Hf[Cp(NMe2)3] and Zr[Cp(NMe2)3] precursors via atomic layer deposition
- 제목
- Effects of Zr content and annealing on ferroelectric of as-grown crystalline Hf1-xZrxO2 thin films using Hf[Cp(NMe2)3] and Zr[Cp(NMe2)3] precursors via atomic layer deposition
- 저자
- 안지훈
- 발행일
- 2022-05-18
- 학회명
- 2022년도 한국재료학회 춘계학술대회