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대면적, 고해상도 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
Substrate deformation apparatus for large-area and high-resolution proximity exposure
- 제목
- 대면적, 고해상도 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
- 제목 (타언어)
- Substrate deformation apparatus for large-area and high-resolution proximity exposure
- 저자
- 오제훈
- 발행일
- 2021-01-04
- 출원번호
- 10-2019-0050944
- 등록번호
- 10-2199964
- 출원일
- 2019-04-30
- 등록일
- 2021-01-04
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단