상세 보기
Area-Selective Atomic Layer Deposition Using Vapor Dosing of Short-Chain Alkanethiol Inhibitors on Metal/Dielectric Surfaces,
- 제목
- Area-Selective Atomic Layer Deposition Using Vapor Dosing of Short-Chain Alkanethiol Inhibitors on Metal/Dielectric Surfaces,
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2022-06-23
- 학회명
- 2022 한국표면공학회 춘계학술대회
- 개최지
- 인하대학교 60주년 기념관