Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers

제목
Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers
저자
박태주
발행일
2020-11-19
학회명
한국재료학회 춘추계통합학술대회
개최지
대한민국/제주 휘닉스 섭지코지