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Atomic layer deposition of Ru thin films using novel Ru(Ⅱ) precursor with enhanced reactivity
- 제목
- Atomic layer deposition of Ru thin films using novel Ru(Ⅱ) precursor with enhanced reactivity
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2022-01-25
- 학회명
- 제29회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원 그랜드호텔