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포토마스크 및 펠리클의 왜곡 교정 방법 및 장치
APPARATUS AND CALIBRATION METHOD FOR PHOTO MASK WITH DISTORTION
- 오혜근;
- 박진구;
- 안진호
- 제목
- 포토마스크 및 펠리클의 왜곡 교정 방법 및 장치
- 제목 (타언어)
- APPARATUS AND CALIBRATION METHOD FOR PHOTO MASK WITH DISTORTION
- 저자
- 오혜근; 박진구; 안진호
- 발행일
- 2016-12-22
- 출원번호
- 10-2015-0057870
- 등록번호
- 10-1690869
- 출원일
- 2015-04-24
- 등록일
- 2016-12-22
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단