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Improvement of the Electrical Properties in Hf0.3Zr0.7O2 with Al Doping Using Atomic Layer Deposition
- 제목
- Improvement of the Electrical Properties in Hf0.3Zr0.7O2 with Al Doping Using Atomic Layer Deposition
- 저자
- 안지훈
- 발행일
- 2022-01-25
- 학회명
- 29회 반도체학술대회