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Sputtered Ferroelectric HZO thin films: grain size engineering via processing parameters
- 제목
- Sputtered Ferroelectric HZO thin films: grain size engineering via processing parameters
- 저자
- 강보수
- 발행일
- 2025-10-22
- 학회명
- 한국물리학회 2025 가을학술논문발표회
- 개최지
- 광주 김대중컨벤션센터