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Atomic layer deposition of Ru thin film using a newly synthesized precursor with open-coordinated ligands
- 제목
- Atomic layer deposition of Ru thin film using a newly synthesized precursor with open-coordinated ligands
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2023-02-15
- 학회명
- 제30회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원리조트