상세 보기
Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers
- 제목
- Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2021-01-27
- 학회명
- 제 28회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 온라인