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Atomic-layer deposition of TiO2 thin films using a (CpMe5) Ti(OMe)3 precursor with high thermal stability
- 제목
- Atomic-layer deposition of TiO2 thin films using a (CpMe5) Ti(OMe)3 precursor with high thermal stability
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2021-07-02
- 학회명
- 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최지
- 강원도 평창 알센시아리조트