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TMEMM 공정 시 Insulation shield jig, surfactant(ADS)에 의한 균일도 향상
Improved uniformity by Insulation shield jig and surfactant (ADS) during TMEMM process
- 제목
- TMEMM 공정 시 Insulation shield jig, surfactant(ADS)에 의한 균일도 향상
- 제목 (타언어)
- Improved uniformity by Insulation shield jig and surfactant (ADS) during TMEMM process
- 저자
- 박진구
- 발행일
- 2019-10-02
- 출원번호
- 10-2018-0034421
- 등록번호
- 10-2030920
- 출원일
- 2018-03-26
- 등록일
- 2019-10-02
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단