상세 보기
Atomic layer deposition of bimetallic alloy and work function modulation using discrete feeding method
- 제목
- Atomic layer deposition of bimetallic alloy and work function modulation using discrete feeding method
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2021-06-28
- 학회명
- ALD/ALE 2021
- 개최지
- 온라인