ScholarWorks@Hanyang University ERICA Campus

상세 보기

고등 원자층 증착법: Discrete feeding method 및 electric potential-assisted ALD를 통한 금속 극박막 성장

제목
고등 원자층 증착법: Discrete feeding method 및 electric potential-assisted ALD를 통한 금속 극박막 성장
저자
박태주
발행일
2023-05-18
학회명
2023 한국표면공학회 춘계학술대회
개최지
제주 소노벨

ScholarWorks@Hanyang University ERICA Campus

(15588) 경기도 안산시 상록구 한양대학로 55 Tel. +82-31-400-4269

COPYRIGHT © Hanyang University ERICA Campus All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.